상세 사양 :

1. Chamber and Hot Zone

The furnace chamber is round and is supplied with a hinged top lid to facilitate loading and unloading. The chamber is double-walled, manufactured from 304L grade stainless steel and is welded together by the heli-arc method. The chamber is electro-polished for a clean, shiny and durable finish.

In our graphite type hot zones, we utilize fibrous graphite insulation. A resistance-heated graphite element surrounds the work area. Power to this element is delivered through a set of graphite pins that require no threaded connections. This reduces down time for element replacement. The element zone area measures 4″ x 8″ with a usable zone 3.5″ diameter x 6″ high (89 mm x 152 mm). The usable area has a temperature uniformity of +/-10 °C. A 5/8″ diameter rotatable gas ported quartz sight window is located on the side of the chamber. Other hot zone sizes are available, refer to our Top Loading Furnaces.

The chamber has a 4″ pumping port on the back side to accommodate an optional high vacuum system. The bottom of the chamber houses ports for the adjustable power feed throughs. The furnace chamber is mounted on a structural, mild steel angle frame which houses the evacuation system and associated electrical components. The water and gas manifolds are also mounted to this frame. The control console is located to the left side of the furnace.

2. Evacuation System

The rough vacuum system offered includes a mechanical roughing pump able to evacuate the furnace to a 10-2 torr (mbar) vacuum level. An electro-pneumatic vacuum valve is provided to isolate the chamber for operation in gas. A manual valve is provided for leak checking the system. Vacuum levels can be monitored by visually observing the Vacuum Gauge Controller or optional HMI Interface. The 4″ port on the chamber will accommodate an optional high vacuum system.

3. Power Supply

Hot zone power is supplied by a three phase SCR Controlled transformer. This Power Supply is designed to accommodate a ramp rate of 100 °C/minute, and operating temperature of 3000°C. All circuit breakers, contactors and power controls are housed in one cabinet together with the instrumentation.

4. Process Gas System

This furnace system was designed to provide a positive pressure inert gas environment for your work samples. The standard positive pressure used in this furnace is 2 P.S.I.G. A relief valve and a compound gauge (30 P.S.I.G. x 30 in. Hg.) are located on the top of the furnace body. The inlet gas flow is regulated by means of a valve mounted on a flow meter and a solenoid gas inlet valve. Partial pressure control systems, operation in hydrogen, gas purification, or oxygen monitoring are all available gas system options.

5. Control System

Furnace control is established with either graphical panel with push-buttons, selector switches and discrete controllers, or via an HMI computer interface. Temperature is read with a two-color Optical Pyrometer and a type “C” Thermocouple. An automatic TC remover retracts the TC out of the heated area to protect it from melting once the pyrometer is in control. This retractable TC is sealed with metal, vacuum-tight bellows, eliminating the need for sliding seals. The TC will control the zone temperature from room to 1500°C. The pyrometer will then read temperature from 1500°C to 3000°C. The vacuum gauge and controller with a pneumatic vacuum valve and control panel instruments allow monitoring and operation of the vacuum system.

The operation of the furnace is made simple and requires only minimal operator interaction, but still allows supervisors or technical personnel to re-configure and further customize the furnace operation.

6. Optional DAQ/ HMI System

As with any of our furnace systems, our HMI control system with a user-friendly operator interface is available as an option. This package has the added advantage of furnace stored data which is displayed in trends, alarms which are displayed/recorded, no limit to the number of temperature recipes, added security to keep operators from entering unauthorized parameters, and the furnace PC can be networked. Fully automated runs are programmable as well. This HMI system replaces the classic temperature and vacuum controllers containing push-buttons and switches.

7. Furnace Water Cooling Manifold

The water manifold provided with this system is designed to adequately cool the furnace and power cables. A water flow switch is installed with a light for visual indication and interlocking the hot zone power. The water manifold has several circuits supplying water to the various parts of the furnace. Each one of these can be manually adjusted to allow each circuit just the proper amount of flow to save water and allow a drain temperature of approximately 100 F.

8.UTILITIES

Power: 35 kVA, 480 V/3Ph/50-60-Hz (other voltages available)

Water: 7 G.P.M.(27 LPM) @ 70F (20°C) and 50 P.S.I.G. (3.4 bar)

Process Gas: Argon or Nitrogen 30 L.P.M. @ 50 P.S.I.G. (3.4 bar)

Compress

한글 번역 사양 =>

1. 챔버 및 핫 존

로 챔버는 둥글고 적재 및 하역을 용이하게 하기 위해 힌지형 상단 뚜껑이 제공됩니다. 챔버는 이중 벽으로 되어 있으며 304L 등급 스테인리스 스틸로 제조되었으며 헬리 아크 방식으로 용접되었습니다. 챔버는 전기 연마되어 깨끗하고 윤이 나며 내구성 있는 마감 처리가 됩니다.

흑연 유형 핫 존에서는 섬유질 흑연 단열재를 사용합니다. 저항 가열 흑연 요소가 작업 영역을 둘러싸고 있습니다. 이 요소에 대한 전원은 나사산 연결이 필요 없는 일련의 흑연 핀을 통해 공급됩니다. 이를 통해 요소 교체를 위한 다운타임이 줄어듭니다. 요소 영역 영역은 4″ x 8″이고 사용 가능한 영역은 직경 3.5″ x 높이 6″(89mm x 152mm)입니다. 사용 가능한 영역의 온도 균일성은 +/-10°C입니다. 직경 5/8″ 회전식 가스 포트 석영 투시창이 챔버 측면에 있습니다. 다른 핫 존 크기도 사용할 수 있습니다. 상단 로딩 퍼니스를 참조하세요.

챔버에는 옵션인 고진공 시스템을 수용하기 위해 뒷면에 4인치 펌핑 포트가 있습니다. 챔버 바닥에는 조절 가능한 전원 공급을 위한 포트가 있습니다. 퍼니스 챔버는 배기 시스템과 관련 전기 구성 요소를 수용하는 구조적 연강 앵글 프레임에 장착됩니다. 물과 가스 매니폴드도 이 프레임에 장착됩니다. 제어 콘솔은 퍼니스의 왼쪽에 있습니다.

2. 배기 시스템

제공되는 거친 진공 시스템에는 퍼니스를 10-2 토르(mbar) 진공 레벨로 진공할 수 있는 기계적 거친 펌프가 포함됩니다. 가스에서 작동하도록 챔버를 분리하기 위해 전기 공압 진공 밸브가 제공됩니다. 시스템 누출을 확인하기 위한 수동 밸브가 제공됩니다. 진공 레벨은 진공 게이지 컨트롤러 또는 옵션인 HMI 인터페이스를 시각적으로 관찰하여 모니터링할 수 있습니다. 챔버의 4인치 포트는 옵션인 고진공 시스템을 수용합니다.

3. 전원 공급 장치

핫존 전원은 3상 SCR 제어 변압기에서 공급됩니다. 이 전원 공급 장치는 100°C/분의 램프 속도와 3000°C의 작동 온도를 수용하도록 설계되었습니다. 모든 회로 차단기, 접촉기 및 전원 제어 장치는 계측기와 함께 하나의 캐비닛에 보관됩니다.

4. 공정 가스 시스템

이 퍼니스 시스템은 작업 샘플에 양압 불활성 가스 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 퍼니스에서 사용되는 표준 양압은 2 P.S.I.G입니다. 릴리프 밸브와 복합 게이지(30 P.S.I.G. x 30 in. Hg.)는 퍼니스 본체 상단에 있습니다. 유입 가스 흐름은 유량계에 장착된 밸브와 솔레노이드 가스 유입 밸브를 통해 조절됩니다. 분압 제어 시스템, 수소 작동, 가스 정화 또는 산소 모니터링은 모두 사용 가능한 가스 시스템 옵션입니다.

5. 제어 시스템

퍼니스 제어는 푸시 버튼, 선택 스위치 및 개별 컨트롤러가 있는 그래픽 패널 또는 HMI 컴퓨터 인터페이스를 통해 설정됩니다. 온도는 2색 광학 피로미터와 “C”형 열전대를 사용하여 읽습니다. 자동 TC 제거기는 피로미터가 제어되면 TC를 가열된 영역에서 빼내 녹지 않도록 보호합니다. 이 접을 수 있는 TC는 금속 진공 밀폐 벨로우즈로 밀봉되어 슬라이딩 씰이 필요 없습니다. TC는 실내에서 1500°C까지의 구역 온도를 제어합니다. 그런 다음 피로미터는 1500°C에서 3000°C까지의 온도를 읽습니다. 공압 진공 밸브와 제어판 계측기가 있는 진공 게이지와 컨트롤러를 통해 진공 시스템을 모니터링하고 작동할 수 있습니다.

용광로 작동은 간단하며 최소한의 작업자 상호 작용만 필요하지만 감독자 또는 기술 인력이 용광로 작동을 재구성하고 추가로 사용자 지정할 수 있습니다.

6. 옵션 DAQ/HMI 제어 시스템

모든 용광로 시스템과 마찬가지로 사용자 친화적인 작업자 인터페이스가 있는 HMI 제어 시스템을 옵션으로 사용할 수 있습니다. 이 패키지는 트렌드에 표시되는 퍼니스 저장 데이터, 표시/기록되는 알람, 온도 레시피 수 제한 없음, 운영자가 무단 매개변수를 입력하지 못하도록 하는 추가 보안, 퍼니스 PC를 네트워크로 연결할 수 있다는 추가 이점이 있습니다. 완전 자동화된 실행도 프로그래밍할 수 있습니다. 이 HMI 시스템은 푸시 버튼과 스위치가 포함된 기존 온도 및 진공 컨트롤러를 대체합니다.

7. 퍼니스 수냉 매니폴드

이 시스템과 함께 제공되는 수냉 매니폴드는 퍼니스와 전원 케이블을 적절히 냉각하도록 설계되었습니다. 물 흐름 스위치는 시각적 표시를 위한 조명과 핫 존 전원을 연동하여 설치됩니다. 수냉 매니폴드에는 퍼니스의 다양한 부분에 물을 공급하는 여러 회로가 있습니다. 이들 각각은 각 회로에 적절한 양의 유량을 허용하여 물을 절약하고 약 100F의 배수 온도를 허용하도록 수동으로 조정할 수 있습니다.

8. 유틸리티

전력: 35kVA, 480V/3Ph/50-60Hz(다른 전압 사용 가능)

물: 7G.P.M.(27LPM) @ 70F(20°C) 및 50P.S.I.G.(3.4bar)

공정 가스: 아르곤 또는 질소 30L.P.M. @ 50P.S.I.G.(3.4bar)

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