몰리브덴 진공로의 – 특징
1.고온 저항성:
몰리브덴은 2620°C의 융점을 가지고 있어 1300°C에서도 우수한 기계적 강도와 내크리프성을 유지하므로, 용광로 챔버의 장기적인 안정적인 작동을 보장합니다.
2.낮은 열팽창 계수:
몰리브덴의 열팽창 계수는 실리콘 및 기타 반도체 재료와 유사하여 고온에서 변형 위험을 줄이고 몰리브덴 포일 열처리 시 치수 정확도를 보장합니다.
몰리브덴은 진공 환경에서 휘발성이 매우 낮아 민감한 물질의 오염을 방지합니다. 이는 특히 AMS의 반도체 등급 몰리브덴 포일 연구에 매우 중요합니다.
몰리브덴의 높은 열전도율과 맞춤형 방사선 차폐 설계가 결합되어 용광로 내부의 온도 균일성을 보장함으로써 초박막 포일의 균일한 가공에 필요한 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
기존의 스테인리스강 또는 흑연로 챔버와 비교하여 몰리브덴 포일 챔버는 탁월한 고온 안정성, 재료 호환성 및 공정 일관성을 제공하여 기술 발전을 위한 핵심 요소입니다.
몰리브덴 진공로의 – 주요 적용 공정
몰리브덴 진공로는 몰리브덴 발열체와 금속 열차폐재를 적용한 고온 진공로입니다.
필요한 온도, 진공도, 냉각 방식은 소재와 공정에 따라 달라지므로 용도에 맞는 장비 구성이 중요합니다
몰리브덴 진공 열처리로 : 산화와 오염을 억제하는 정밀 열처리
| 공정 | 목적과 적용 예 |
|---|---|
| 진공 어닐링(풀림) | 가공으로 변한 조직이나 물성을 조정하고, 소재에 따라 연성 및 가공성을 개선합니다. |
| 응력 제거 열처리 | 용접·가공·적층제조 후 부품에 남은 잔류응력을 줄여 후속 가공이나 사용 중의 변형 위험을 관리합니다. |
| 용체화 처리 | 적용 합금의 규정 온도로 가열·유지한 후 필요한 속도로 냉각하여 후속 시효 처리 등에 필요한 조직 상태를 만듭니다. 후속 시효는 용체화 처리와 냉각을 마친 뒤, 다시 정해진 온도에서 일정 시간 유지하는 열처리입니다. 합금 내부에 미세한 입자가 형성되도록 해 강도나 경도를 높이는 데 사용합니다. |
| 진공 시효·템퍼링 | 합금 또는 강종에 맞는 온도와 시간으로 열처리하여 요구 물성을 조정합니다. |
| 반응성 금속 부품의 열처리 | 티타늄 등 산소·수분 관리가 중요한 소재를 처리할 때 적절한 진공도와 분위기를 설정합니다. |
이들 공정은 실제로 진공 열처리 분야에서 사용되지만, 모든 소재에 모든 공정이 적용되는 것은 아닙니다. 특히 티타늄 부품은 진공로라는 이름만으로 표면 오염 방지가 보장되지 않으므로, 잔류 산소 수분과 공정 분위기를 검토해야 합니다.
냉각 방식이 핵심 구분점입니다. 어닐링이나 응력 제거처럼 공정에 맞춰 서서히 냉각하는 열처리와, 경화를 위해 강한 급속 냉각이 필요한 가스 담금질은 장비 구성이 다를 수 있습니다. 가스 냉각 기능이 있다고 해서 특정 강종의 담금질 성능까지 자동으로 보장되는 것은 아닙니다.
몰리브덴 진공 브레이징로 : 고순도 정밀 접합용
몰리브덴 진공 브레이징로는 산화나 오염 없이 첨단 소재를 접합하는 데 필요한 극한 온도에서 작동하도록 설계되었습니다. 특징은 다음과 같습니다.
핵심 챔버와 발열체는 몰리브덴으로 제작되어 고진공 상태에서 최대 1500°C의 온도에서 연속 작동을 견딜 수 있습니다.
브레이징 공정 중 표면 산화, 변색 및 취성을 방지하는 데 필수적인 무산소 분위기를 조성합니다.
견고한 몰리브덴 구조로 최대 1500°C의 온도를 견딜 수 있어 다양한 고융점 용접봉을 사용할 수 있습니다.
이러한 용광로는 다음과 같은 완벽한 접합 품질과 최소한의 열 변형이 요구되는 브레이징 작업에 탁월합니다.
몰리브덴 진공 가스 담금질로 : 제어된 급속 냉각용
몰리브덴 진공 가스 담금질로 : 결론

| 모델 |
챔버 크기 (가로 × 세로 × 깊이) |
최고온도 | 출력 | 전압 | 최대 진공도 |
|---|---|---|---|---|---|
| BR-QHM-223 | 200 × 200 × 300 mm | 1,350℃ | 34 kW | 380 V |
7 × 10−3 Pa (7 × 10−5 mbar) |
| BR-QHM-334 | 300 × 300 × 400 mm | 1,350℃ | 60 kW | 380 V | |
| BR-QHM-446 | 400 × 400 × 600 mm | 1,350℃ | 98 kW | 380 V | |
| BR-QHM-557 | 500 × 500 × 700 mm | 1,350℃ | 132 kW | 380 V | |
| BR-QHM-669 | 600 × 600 × 900 mm | 1,350℃ | 180 kW | 380 V |
| 모델 |
챔버 크기 (가로 × 세로 × 깊이) |
최고온도 | 발열체 | 장입 용량 | 정격출력 | 최대 진공도 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BR-QCL-334G | 300 × 300 × 450 mm | 1,350℃ | 몰리브덴 | 100 kg | 50 kW | 7 × 10−1 Pa |
| BR-QCL-446G | 400 × 400 × 600 mm | 1,350℃ | 몰리브덴 | 200 kg | 80 kW | 7 × 10−1 Pa |
| BR-QCL-557G | 500 × 500 × 700 mm | 1,350℃ | 몰리브덴 | 300 kg | 120 kW | 7 × 10−1 Pa |
| BR-QCL-669G | 600 × 600 × 900 mm | 1,350℃ | 몰리브덴 | 500 kg | 150 kW | 7 × 10−1 Pa |
| BR-QCL-8812G | 800 × 800 × 1,200 mm | 1,350℃ | 몰리브덴 | 900 kg | 260 kW | 7 × 10−1 Pa |
*다른 사이즈도 주문 제작 가능합니다.
*최대 온도 1500℃ 이상과 최대 진공도 7 × 10⁻⁴ Pa (=5.3 × 10⁻⁶ Torr) 이상 고온 진공로가 필요하시면 저희에게 문의해 주십시오.
1999년 개업 이후, 지난 30여년간
최첨단 장비들을 국내에 소개 및 판매 기술 지원하여 왔으며, 또한 이기술을 바탕으로 일부 품목 제조를 통하여 국산화에도 노력하여 왔습니다. 앞으로도 더욱 노력하여 국내 기술 발전에 이바지 하도록 하겠습니다.
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