Contact Profiler(접촉식 3차원측정기)
브랜드 DEKTAK(덱탁)!!!
Model DXT-1968년 1세대 박막두께측정과
표면거칠기 측정기를 세계최초로 개발한 후,
제 10세대 혁신적인 신상품!!!
Bruker사의 기술은 경쟁자를 허용하지 않습니다.!!!
1968년 세계 최초 Dektak I 박막두께 측정기 개발 이후의 역사!!!
측정기 아래에 추가 선택 사양으로 진동방지 Air Pad 혹은 Air Table 공급 가능
BRUKER사의 DEKTAK 모델 DXT의 특징
1.센서를 잡아주는 지지대가 세계최초 Arch형으로 설계-기존의 직각지지대에 비하여 수직 nano meter 급 분해능으로
측정시, 아래위로 nm급의 울렁거림도 허용하지 않음.
4.수직측정 정확도— (5Å, 1sigma)repeatability 보다 좋다. 1Sigma 의미는 10번 측정식 불량측정데이터가 3~4개를 의미.
5.수직측정범위-세계 최대 1mm, 센서의 교체 없이 수직측정범위 10nm~1mm를 측정한다.
6. Self Aligning 스타일러스 팁이 가능한 시스템으로 팁교체시 매우 간단하고 편안하게 교체 한다. 1분이내 교체시간이면 충분.
9. 작업 소프트웨어가 매우 간편하게 만들어져서, 서툰작업자도 초기 화면에서, 측정셋업을 모두 할 수 있다.
10.태양광 Wafer와 같이 표면에 있는 코팅이나 패턴의 단차가 균일하게 되어 있지 않아도, 소프트웨어서 단차의 폭이나 넓이를
선명하게 자동으로 잡아내 준다.
이외에 이 사이트에 노출하지 않은 중요한 특징과 장점은 연락주시면 상담 드리고, 정보 자료 제출 드리도록 하겠습니다.
세가지 모델이 있습니다.
모델 DXT-E—>4Inch 정사각형 샘플홀더가 기본형으로 장착되고, 표면거칠기나 코팅두께 측정기능
모델 DXT-S—>4~6inch wafer holder 수동회전형이 기본형으로 장착되어 표면거칠기나, 코팅두께 측정기능.
모델 DXT-A—>8inch wafer holder 자동회전형제어로 기본형으로 장착되어, 표면거칠기, 코팅두께, 코팅전후 응력변화,3차원 측정까지 가능.
아래 모델번호와 이름에 클릭 하시면은 상세 정보 검색 가능 합니다.
-1분내에 Self-aligning stylus sensor 와 Tip 교체 작업가능.
-전문적으로 훈련된 작업자가 아니라도 쉽게 센서의 손상을 입히지 않고 교체 작업을 가능하게 한다.
-빠르고, 간단하게, 동일한 위치에 여러번의 측정과, 다양한 위치로 프로그래밍하여 측정 가능.
측정반복도가 5Å 보다 좋은 것을 보여주는 데이타 입니다. 타업체 측정기는 카타로그에는 매우 좋은 측정반복도를 보여주고 있으나, 실제 측정시 위와 같은 반복도의 데이타를 보여주지 않습니다. 이 데이타는 측정분석기의 대명사인 Bruker사에서 보증하는 자료 입니다.
다양한 샘플홀더(위 왼쪽서부터)
a.DXT-4IN BASE( 4-INCH SQUARE BASE PLATFORM WITH NO VACUUM CAPABILITY)
b.DXT-4-6IN BASE(4 TO 6 INCH WAFER VACUUM CHUCK)
c. DXT-2-3IN WVC(2 TO 3 INCH WAFER VACUUM CHUCK)
d. DXT-8IN WVC(전용 8 INCH WAFER VACUUM CHUCK)
e. DXT-CVC(CERAMIC VACUUM CHUCK WITH ADAPTER)
f. DXT-PV CHUCK(전용 태양광 PHOTO VOLTAIC VACUUM CHUCK WITH ADAPTER)
코팅전후 Stress 측정 기능
-코팅전후 샘플표면에 Stress를 받게 될 경우, 모재는 코팅경계면의 박리를 일으키고, 표면의 균열(Crack), 혹은 식각의 문제를 발생시킨다.
-항상 코팅전후에 이러한 응력을 일으키지 않기를 원하게 되고,
-그러므로, 엔지니어는 코팅전과 후에 표면의 외형 변화를 측정하여 Stress를 측정하고 관리하여야 한다.
지난 30여년간 국내 Tribology(마찰/마모/연마/윤활), 스크래치 마이크로 물성 고온 경도계, 베어링시험기, 3차원표면 형상측정기 내외경 측정기, 열_분석기, 열경화 시험기 등을 국내에 공급해오면서 기술산업 발전에 조금이나마 노력하여 왔습니다. 미.일.유럽 소재, 유명 제조공급사인 BRUKER, PHOENIX TRIBOLOGY, KEP, SETARAM, SETSMARMT, INNOWEP, TABER, AMTEC, WALKWAY, ANFATEC, SHINTO-HEIDON, ENEOS MATERIALS, TRICO사의 최첨단 장비들을 국내에 소개 및 판매 기술 지원하여 왔으며, 또한 이기술을 바탕으로 일부 품목 제조를 통하여 국산화에도 노력하여 왔습니다.
서울특별시 송파구 정의로 7길 13 (문정동 639-5), 힐스테이트에코송파 오피스동 409호. 문정역 4번 출구에서 5분 거리
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