고온 CREEP 시험 가능
Stiffness/Creep/Plastic Deformation/Elasticity 시험분석기
GLOBAL BRUKER사 제조 공급
1,000도씨 고온 경도계
(Universal Mechanical & Tribology Tester)
실리콘밸리 최첨단 Micro/Nano 하중 제어 기술, 자체 센서기술로 마이크로/나노 하중제어의 고온경도/크리프/인장압축 물성 시험기를 한 대에서 선택사양에 따라 할 수 있습니다.
아래 하중 적용센서 선택 적용 가능:
NANO~MICRO~MACRO 수준의 하중적용 센서를 선택하여 한 대의 시험기에 장착 하여, 실험 가능하고, 센서 교체에 1분 이내의 시간이면 충 분 합니다.
120초간 CREEP 시험 ; 시험 샘플에 일정한 하중을 장시간 가함으로써 생기는 변형과 경과 시간과의 관계를 측정하여 크리프 강도 따위를 조사하는 시험.
이 시험의 경우, 시험초기 50g 하중을 강제적으로 적용하고, 수직 높이도 일정하게 유지 시킨 이후 로크웰 구형 팁에 걸리는 하중의 변화를 120초간 측정하여 CREEP강도 시험을 하였다,
아래 샘플 3가지에 대하여 3번의 반복시험을 한 결과, 각 시편은 반복성이 있는 결과를 보여주며, 검정색 5번시편이 CREEP 강도치가 가장 높은 결과 보여준다. Creep 강도 수치가 높다는 의미는 Creep 변형률이 높다는 의미이다.
Stiffness(강직도), Plastic Deformation(소성변형) 등의 측정도 가능하다.
웨이퍼 CMP 평탄화 공정용 연마패드의 물성 시험 1.
아래 Fig 6의 그림을 보면은 연마 패드에 상부시편으로 Disc를 잡고, 마패드에 접촉 시켜 하중을 적용했다가 해지했다를 시험하는 Loading/Unloading 시험을 한 결과,
하중을 적용할 때는 Elasticity를 측정가능하고, 50N의 하중을 일정하게 적용 하여 수직 변형을 측정하면은 Creep 특성을 측정 가능하고, 상부시편의 하중을 0으로 제거하면은 하부시편 Pad의 plasticitcity(소성변형)을 측정 가능하다.
아래 Fig 6을 보면은 Pad 1와 Pad2의 그래프에서 차이점을 볼 수 있는데,
Pad1 의 경우(stiffness of 0.24 micron/N, creep of 1.7 micron, post-test plastic deformation of 6.6 micron) 이다.
Pad2 의 경우(stiffness of 0.12 micron/N, practically no creep, post-test plastic deformation of 2.2 micron) 이고,.
Fig. 6. Pad의 Loading-Unloading 시험
웨이퍼 CMP 평탄화 공정용 연마패드의 물성 시험 2.
시험대상인 하부 시편CMP 연마 패드에는 Groove가 있어서, 상부 시편에 2인치 직경의 Disc와 0.25인치 직경의 볼로 연마패드를 누를 경우, 물성이 각각 다른 결과를 볼 수 있습니다.
시험 데이터가 Fig 7. 은 DISK 2인치 면접촉 시편으로 연마패트를 압축한 첫번째 측정 그래프와 0.25인치 볼로 점접촉을 시도한 연마패드 골과 골사이 즉, Groove 사이에 있는 패드 면과의 물성의 차이가 있음을 볼 수 있습니다.
Fig. 7. 하부 시편 연마Pad의 변형 시험–>
상부팁을 직경 2인치 면접촉 디스크와 직경 0.25인치 점접촉 볼로 연마 PAD의 표면을 압축 변형시킬 경우 측정의 차이–>디스크는 Groove 윗면의 물성을 측정하고 볼은 연마 패드의 Groove (=골)사이에 깊은 면의 물성을 측정합니다.
1,000도씨 까지 로크웰 경도 시험 환경 제어 가능,
온도제어 속도가 빠릅니다.
고온 고속으로 300도씨, 600도씨, 900도씨,
로크웰 형태의 시험 후 샘플에 압자 흔적
상온에서–>900도씨까지 온도 변화에 따른 ROCKWEL방식 경도수치 변화
아래 그라프에서 보실 수 있습니다.—>300도씨까지 물성의 변화가 별로 없다가, 300도~700도씨까지 경도의 변화 변화를 보이다가, 700도씨 이상에서 물성치의 급격한 변화를 볼수 있습니다
ASTM E-18 의 로크웰 표준 시험 방식
시험방식은 동일하게, 고온용 시험 팁은 BRUKER사와 협의 합니다.
자동차 엔진 부품(밸브등)의 비커스 경도치와 실린더/피스톤의 마찰마모 시험이 가능하고, 로크웰 방식으로는 영하의 시험뿐 아니라 최대 1,000도씨까지 시험이 가능합니다.
1.측정요소(1000도씨 고온 시험 환경 적용이 가능합니다.)
물성 측정요소
-HARDNESS(ROCWELL/VICKERS/SHORE/기타등등)
-Tensile/Compression
-Micro Hardness/Micro Indenting
-Creep/Elastic Modulus/Youngs Modulus
-Penetration/Piercing Resistance.
-Sharpness
접착강도 측정요소
-Scratch Hardness Test
—>일정하중하에서 Scratch Resistnce/스크래치 경도치 측정
—>박막 경도치 측정용
-Scratch Adhesion Test
—>하중을 증가시키며 시험하며 코팅접착력/Scratch Toughness 측정
-Delamination/Ahdesion
-Friction/Wear/Deformation
마찰마모윤활측정요소
-다양한 재질표면의 마찰마모윤활(TRIBOLOGY)특성 및 코팅특성 측정
-전문적인 회전식 Pin on disc(0.1~5,000rpm)
-왕복동식마찰마모(50Hz)/Block on Ring/Fourball
-광디스크등의 Tribology특성
-Hard Disk표면의 마찰계수와 열특성 시험
-CMP TEST
한미산업
지난 30여년간 국내 Tribology(마찰/마모/연마/윤활), 스크래치 마이크로 물성 고온 경도계, 베어링시험기, 3차원표면 형상측정기 내외경 측정기, 열_분석기, 열경화 시험기 등을 국내에 공급해오면서 기술산업 발전에 조금이나마 노력하여 왔습니다. 미.일.유럽 소재, 유명 제조공급사인 BRUKER, PHOENIX TRIBOLOGY, KEP, SETARAM, SETSMARMT, INNOWEP, TABER, AMTEC, WALKWAY, ANFATEC, SHINTO-HEIDON, ENEOS MATERIALS, TRICO사의 최첨단 장비들을 국내에 소개 및 판매 기술 지원하여 왔으며, 또한 이기술을 바탕으로 일부 품목 제조를 통하여 국산화에도 노력하여 왔습니다.
상호: 한미산업
대표: 최동하
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