상세 사양 :

Chamber and Hot Zone ;

The chamber is loaded from the front and contains a Hot Zone with a 3.0″ diameter x 6.0″ high usable zone and +/- 10 °C temperature gradient. The heating element is a 1/2- 1/2 split design allowing the crucible loaded with sample material to be inserted straight into the zone onto the support plate. The furnace chamber is manufactured from double-walled stainless steel welded together and polished for a clean finish and good vacuum integrity.

The hot zone assembly can be one of three choices: a graphite band element and rigid fibrous graphite insulation pack, a Moly-D rod element with a ceramic insulation pack, or a high temperature metal mesh heating element and layered metal shielding. The maximum operating temperature is 2000°C (1650°C with ceramic zone) with the crystal growing kit, and is capable of 2800 °C in batch mode with the addition of a heater shell.

Power Supply & Controls ;

Power to the hot zone is supplied by a three phase SCR-controlled power supply, including a circuit breaker, a contactor, an SCR with step-down transformer matched to meet the heating element resistance, volt and amp meters, and a set of water-cooled power cables to supply power to the furnace.

The furnace controls consist of buttons, switches, lights and controllers which are mounted in a control panel. They provide safe, simple and reliable operation of the furnace components. The optional HMI system replaces these components with a PLC, computer and software package which allows Data acquisition, unlimited recipe storage, alarming, trending, security, automation, networking and an intuitive graphical user interface. All safeties and interlocks are programmed and tested to conform with NFPA 86.

A type “C” sheathed and coated thermocouple is supplied and can be used to measure the furnace temperature up to 2000 °C. An optional Pyrometer can also be used for temperatures above 800 °C.

Vacuum and Gas System ;

The evacuation system consists of a Rotary Vane Mechanical Pump, an electro-pneumatic vacuum valve, vacuum gauge controller and vacuum gauge. This vacuum system will allow for operation in a vacuum environment (10-2 Torr range). A 4″ or 6″diffusion pumping system or a turbo pumping system can be provided as well and can achieve vacuum levels down to 10-6 with the diffusion pumping system and 10-7 Torr range with the turbo pumping system. A manual valve is provided for leak checking or air-releasing the roughing line.

The gas system is supplied to provide an inert environment for the work samples during heating. The process gas system includes solenoid-operated inlet valve, a compound gauge (30 P.S.I.G. x 30 in. Hg.), a gas flow meter, and a 2 P.S.I.G. outlet relief valve to maintain a positive pressure. As an option, flammable gases can be used with the hydrogen gas kit.

Water Cooling System ;

The furnace water cooling manifold consists of multiple circuits to adequately cool all the furnace parts and includes a strainer, pressure regulator, pressure gauge, water inlet and outlet manifold, a water flow switch interlock to protect the furnace in the event of a water flow failure. Each part of the furnace is supplied with a separate cooling circuit that can be regulated by independent manual ball valves

한글 번역 =>

챔버 및 핫 존

챔버는 전면에서 로드되며 3.0인치 직경 x 6.0인치 높이의 사용 가능 존과 +/- 10°C 온도 구배가 있는 핫 존을 포함합니다. 가열 요소는 1/2- 1/2 분할 설계로 샘플 재료가 로드된 도가니를 지지판 위의 존에 직접 삽입할 수 있습니다. 퍼니스 챔버는 깨끗한 마감과 우수한 진공 무결성을 위해 용접 및 연마된 이중벽 스테인리스 스틸로 제조됩니다.

핫 존 어셈블리는 세 가지 선택 사항 중 하나일 수 있습니다. 흑연 밴드 요소와 단단한 섬유 흑연 단열 팩, 세라믹 단열 팩이 있는 Moly-D 막대 요소 또는 고온 금속 메시 가열 요소와 적층 금속 차폐입니다. 최대 작동 온도는 결정 성장 키트를 사용하면 2000°C(세라믹 존이 있는 경우 1650°C)이며 히터 셸을 추가하면 배치 모드에서 2800°C까지 가능합니다.

전원 공급 및 제어

핫존에 공급되는 전원은 회로 차단기, 접촉기, 가열 소자 저항에 맞게 조정된 스텝다운 변압기가 있는 SCR, 전압 및 전류계, 퍼니스에 전원을 공급하는 일련의 수냉식 전원 케이블을 포함한 3상 SCR 제어 전원 공급 장치를 통해 공급됩니다.

퍼니스 제어 장치는 제어판에 장착된 버튼, 스위치, 조명 및 컨트롤러로 구성됩니다. 퍼니스 구성 요소의 안전하고 간단하며 안정적인 작동을 제공합니다. 옵션 HMI 시스템은 이러한 구성 요소를 PLC, 컴퓨터 및 소프트웨어 패키지로 대체하여 데이터 수집, 무제한 레시피 저장, 알람, 추세, 보안, 자동화, 네트워킹 및 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 모든 안전 장치 및 인터록은 NFPA 86에 맞게 프로그래밍 및 테스트되었습니다.

유형 “C” 피복 및 코팅 열전대가 제공되며 최대 2000°C의 퍼니스 온도를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 옵션인 피로미터는 800°C 이상의 온도에도 사용할 수 있습니다.

진공 및 가스 시스템

배기 시스템은 회전 베인 기계식 펌프, 전기 공압 진공 밸브, 진공 게이지 컨트롤러 및 진공 게이지로 구성됩니다. 이 진공 시스템은 진공 환경(10-2 Torr 범위)에서 작동할 수 있습니다. 4인치 또는 6인치 확산 펌핑 시스템 또는 터보 펌핑 시스템도 제공될 수 있으며 확산 펌핑 시스템으로 10-6까지, 터보 펌핑 시스템으로 10-7 Torr 범위까지 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 러핑 라인의 누출을 확인하거나 공기를 방출하기 위한 수동 밸브가 제공됩니다.

가스 시스템은 가열하는 동안 작업 샘플에 불활성 환경을 제공하기 위해 제공됩니다. 공정 가스 시스템에는 솔레노이드 작동 입구 밸브, 복합 게이지(30 P.S.I.G. x 30 in. Hg.), 가스 유량계 및 양압을 유지하기 위한 2 P.S.I.G. 출구 릴리프 밸브가 포함됩니다. 옵션으로 수소 가스 키트와 함께 가연성 가스를 사용할 수 있습니다.

수냉 시스템

로 수냉 매니폴드는 모든 로 부품을 적절히 냉각하기 위한 여러 회로로 구성되어 있으며, 스트레이너, 압력 조절기, 압력 ​​게이지, 물 유입 및 유출 매니폴드, 물 흐름 스위치 인터록을 포함하여 물 흐름이 끊어질 경우 로를 보호합니다. 로의 각 부분에는 독립된 수동 볼 밸브로 조절할 수 있는 별도의 냉각 회로가 제공됩니다.